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VMZ高精度影像仪
VMZ超高精度影像仪专为高精度测量场景倾力打造,亚微米级精度,适用于半导体、微组装、光通信等高精度测量场景。
产品特点
  • 顶级的光学系统,超高放大倍率
    · 多种高倍显微镜头可选择,放大倍率可达 25-6360倍
    · 激光辅助对焦,聚焦时间小于1秒
    · 可程控式环形落射光源,LED轮廓光源,同轴光源,光源配置丰富,产品适用范围广
  • 高精度运动平台
    · 花岗岩主体结构,精度高、稳定性好
    · 采用纳米级超低膨胀系数光栅尺,确保机台精度及稳定性
    · 高速静音电机驱动,设备平稳可靠
  • 丰富的配件选项
    · 可加装光谱位移传感器,实现高度、平面度等尺寸的扫描与打点测量
    · 多种可选物镜,实现更多的放大倍率
产品参数
型号 运动行程 (mm) 测量范围 (mm) 外部尺寸 (mm) 重量 (kg)
VMZ432-T1 400 x 300 x 200 400 x 300 x 135 800 x 1240 x 1762 420
VMZ432-T2 400 x 300 x 200 400 x 300 x 135 800 x 1240 x 1762 450
VMZ432-T3 400 x 300 x 200 400 x 300 x 135 800 x 1240 x 1762 450
应用领域
  • 航空航天
  • 消费电子
  • 半导体
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